Job Description

工作使命

EUV 客戶服務（CS）技術員負責在客戶現場執行 EUV 量產機的維修、故障排除、升級與例行保養（PM），確保系統可用率、良率與安全合規，並提供即時的狀態回報與知識傳遞。

工作說明

CS 組織於客戶現場執行 ASML 系統的驗證、維修、硬體更換及安裝，並確保必要知識轉移。

在指示範圍內工作、能處理常見例外並於類似情境做出合宜判斷。

與資深工程師主管確認優先順序與計畫，於有限監督下完成程序並檢查結果。

參與回饋流程與持續改進活動（CI）。

工作內容（Service action + Regular PM）

A. Service action / PM

Basic Action :

SRC：DGA swap、Tin reload

SCN：SWPC、LLGV swap

DL：RFG swap、Pumpswap（泵浦更換）*

Advance Action :

SRC：IF cap cleaning、SRBB swap*、Collector swap*、TCBA/CFR/FV/HFS

SCN：TopSISO、Top remove

DL：Cleanwater、circuit Al/Cu

B. Regular PM（例行保養）

Daily/Shift

系統健康：AlarmsWarnings、趨勢與關鍵參數巡檢

目視點檢：洩漏、異音、震動、溫度、潔淨度

耗材壽命追蹤：濾心、O-ring 等

Weekly

區域清潔與除塵（外罩、平台、治具）

冷卻氣體真空子系統快速點檢（含異常紀錄）

Monthly/Quarterly

指定濾材更換、軸封潤滑檢查

校正對位基準檢查，更新基準值與趨勢圖

效能驗證（ThroughputAvailability）與改善建議

Post-PM/Service

Leak check、功能測試、Recipe健康檢查

完成表單、偏差與備件消耗回報

行政支援與合規

工單進度交接、問題描述清楚傳遞；必要時升級通報（Escalation）。

執行完美物料退回（PMR）與備件序號時數追蹤（可追溯性）。

無塵室規範、安全與 PIP 規範遵循，落實 LOTO 與 2-person rule。

工作職責

高品質服務

依 SOP/WI 完成維修升級保養；關鍵步驟雙人覆核與扭力尺寸紀錄。

執行基本故障排除並支援機台恢復，嚴格遵守作業規範。

知識建立與傳遞

維持對流程與程序的最新理解，檢視 CBT 與流程資訊。

主動向資深工程師請教及學習

物料產品管理

辨識損壞遺失材料並回報，確保知識產權與工具安全（鎖定封存）。

流程優化與持續改進

提出流程改善建議，參與 CI 與問題根因分析（RCA）。

問題交接與文件管理

高品質提交物料通知、目擊報告與其他回饋文件；完整交接。

客戶溝通

口頭書面更新系統進度與風險，維持專業形象。

個人技能

接納文化差異、良好團隊合作精神與自我驅動。

可在多變且艱鉅的環境中多工處理。

俱備中英文溝通能力與紀錄能力。

具備硬體手作技能或相關實務經驗，重視細節與紀律。

其他資訊

可依業務需求彈性出差；可能需輪班（含夜班）或週末支援（依專案排程）。

遵循客戶與公司安全規範，健康與安全第一。

This position requires access to controlled technology, as defined in the United States Export Administration Regulations (15 C.F.R. § 730, et seq.). Qualified candidates must be legally authorized to access such controlled technology prior to beginning work. Business demands may require ASML to proceed with candidates who are immediately eligible to access controlled technology.

Inclusion and diversity

ASML is an Equal Opportunity Employer that values and respects the importance of a diverse and inclusive workforce. It is the policy of the company to recruit, hire, train and promote persons in all job titles without regard to race, color, religion, sex, age, national origin, veteran status, disability, sexual orientation, or gender identity. We recognize that inclusion and diversity is a driving force in the success of our company.

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